ใบมีด Dicing คืออะไร? ใบตัดบางเฉียบด้านหลังบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์

ในบรรจุภัณฑ์ส่วนหลังของเซมิคอนดักเตอร์ เรียกว่าขั้นตอนในการตัดแผ่นเวเฟอร์ที่เสร็จแล้วออกเป็นแม่พิมพ์แต่ละชิ้นหั่นสี่เหลี่ยมลูกเต๋า. ล้อที่บางมากซึ่งติดตั้งอยู่บนแกนหมุนความเร็วสูงของเลื่อยหั่นลูกเต๋า ซึ่งเป็นเครื่องมือที่ใช้ตัดได้จริง เป็นที่รู้จักในวงการว่าเป็นใบมีดหั่นสี่เหลี่ยมลูกเต๋าหรือเป็นทางการมากขึ้นล้อลูกเต๋าบางเฉียบ. ใช้สารขัดเพชรเพื่อตัดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์บรรจุหีบห่อด้วยกลไก และถือเป็นเครื่องมือสิ้นเปลืองที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

1. โครงสร้างสามส่วน: กรวดเพชร พันธะ และดุม

จากการวิจัยในอุตสาหกรรม วงล้อลูกเต๋าประกอบขึ้นจากองค์ประกอบสามประการ:

• กรวดเพชร: โดยทั่วไปจะมีขนาด 1–8 µm สำหรับการตัดและเจียรตามจริง
• บอนด์: ส่วนใหญ่มีสองตระกูล - นิกเกิลที่ขึ้นรูปด้วยไฟฟ้า (พันธะโลหะ) และพันธะเรซินเทอร์โมเซต
• ฮับ: หน้าแปลนอะลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแม่นยำซึ่งยึดเข้ากับแกนเลื่อยหั่นลูกเต๋า

ความหนาของล้อโดยรวมอยู่ระหว่าง 0.02 ถึง 1.5 มม. ในขณะที่คมตัดมีความหนาเพียง 9–120 µm. ข้อมูลจำเพาะเชิงพาณิชย์ทั่วไปอยู่ระหว่าง 20 ถึง 60 µm ซึ่งใกล้เคียงกับเส้นผ่านศูนย์กลางของเส้นผมมนุษย์

2. ตระกูลโครงสร้างสองตระกูล: ใบมีดแบบดุมล้อและใบมีดแบบไร้ดุม

ตามการก่อสร้าง ใบมีดหั่นลูกเต๋าแบ่งออกเป็นสองประเภทกว้าง ๆ:

• ใบมีดแบบดุม ("แข็ง"): นิกเกิลขึ้นรูปด้วยไฟฟ้า โดยมีเม็ดกรวดเพชรรวมอยู่ในหน้าแปลนอะลูมิเนียมเป็นชิ้นเดียว พวกมันมีความเหนียวและความแข็งแรงสูง และใช้สำหรับถนนแคบ เวเฟอร์ซิลิคอนบางพิเศษ และเวเฟอร์เม็ดเล็ก - ให้การตัดที่สะอาดโดยมีการบิ่นและการแตกร้าวด้านหลังน้อยกว่ามาก
• ใบมีดไร้ดุม ("อ่อน"): มักจะติดด้วยเรซิน มีความยืดหยุ่นดี ขอบบางมาก และมีความแม่นยำสูง มีรุ่นไร้ดุมชุบนิกเกิลด้วยไฟฟ้าบางรุ่นก็มีอยู่เช่นกัน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกลึงร่องและตัดอุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ เช่น QFN, DFN, BGA, MEMS, LED, PCB และซับสเตรตเซรามิกด้วยความเร็วสูงด้วยความแม่นยำสูง

3. บริเวณที่ใช้ใบมีดหั่นลูกเต๋า

ล้อตัดเป็นชิ้นตัดเซมิคอนดักเตอร์และเวเฟอร์เชิงฟังก์ชันหลายประเภท เช่น ซิลิคอน, SiC, GaN, GaAs, InP และลิเธียมแทนทาเลต ทั่วทั้งลอจิก IC, หน่วยความจำ, เซมิคอนดักเตอร์กำลัง, อุปกรณ์ RF, ออปโตอิเล็กทรอนิกส์, MEMS และเซ็นเซอร์ ชายแดนที่มีความต้องการเป็นพิเศษคือเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามเช่น SiC: ความแข็งและความเปราะบางเป็นพิเศษทำให้การหั่นลูกเต๋ายากกว่าซิลิคอนทั่วไปมาก และกระบวนการใบมีดที่เกี่ยวข้องยังคงได้รับการปรับปรุงอย่างเต็มที่

4. วิธีการผลิตใบมีดแบบดุมล้อ: กระบวนการขึ้นรูปด้วยไฟฟ้า

ยกตัวอย่างใบมีดแบบแข็ง: ดุมอะลูมิเนียมที่ผ่านการขัดเงาอย่างแม่นยำจะถูกโหลดลงในแม่พิมพ์ และได้รับการชุบผิวเบื้องต้นด้วยไฟฟ้า - การขจัดคราบไขมัน การกำจัดออกไซด์ การดองด้วยกรด และการกระตุ้นอะลูมิเนียม จากนั้นจึงขึ้นรูปด้วยไฟฟ้าในอิเล็กโทรไลต์ผสมกับเพชรกรวด ไอออนของนิกเกิลสะสมอยู่บนพื้นผิวดุมล้อ ล็อคเม็ดเพชรทีละชั้นภายในการเคลือบนิกเกิลจนกระทั่งสร้างล้อเพชรที่บางเฉียบโดยสมบูรณ์

5. จีนมีความสามารถในการผลิตเชิงปริมาณอยู่แล้ว

การวิเคราะห์ทางอุตสาหกรรมบ่งชี้ว่าจีนได้สร้างการผลิตใบมีดหั่นลูกเต๋าในประเทศในปริมาณมาก โดยมีผู้เล่นตัวแทน 3 ราย:

• สถาบัน Sanmo (สถาบันวิจัยเจิ้งโจวด้านสารกัดกร่อนและการเจียร ภายใต้ Sinomach Precision): ผลิตใบมีดหั่นสี่เหลี่ยมลูกเต๋าเพชรบางพิเศษเป็นชุดสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ใบมีดที่บางที่สุดมีความยาวถึง 10 µm ซึ่งสามารถหั่นแผ่นเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วลงในถนนประมาณ 2,000 แห่งและให้ผลผลิตประมาณ 800,000 แม่พิมพ์
• GL Tech (เทคโนโลยี Guangli): เปิดเผยในเดือนสิงหาคม พ.ศ. 2569 ว่ากำลังเพิ่มกำลังการผลิตภายในประเทศสำหรับใบมีดสิ้นเปลืองอย่างรวดเร็ว ใบมีดแบบอ่อนมีจำหน่ายแล้วในจำนวนน้อย ขณะที่ใบมีดแบบแข็งอยู่ระหว่างการตรวจสอบจากลูกค้า
• หนานทง เหว่ยเต็ง เซมิคอนดักเตอร์: ความจุใบมีดหั่นลูกเต๋าต่อปีเกิน 1,000,000 ชิ้น

ปิด

ใบมีดหั่นลูกเต๋าดูเหมือนเป็นวัสดุสิ้นเปลืองขนาดเล็กอีกชนิดหนึ่งในบรรจุภัณฑ์ด้านหลัง แต่จะกำหนดผลผลิตของการหั่น ขนาดการบิ่น และการใช้วัสดุโดยตรง ด้วยการแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม SiC และ GaN และความแม่นยำที่แน่นแฟ้นยิ่งขึ้นของบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ล้อบางขนาดไมครอนนี้จึงได้กลายเป็นหนึ่งในหมวดหมู่หลักสำหรับการทดแทนในประเทศ

เกี่ยวกับ huicetools:ผู้ผลิตเครื่องมือเพชรระดับมืออาชีพ ก่อตั้งขึ้นในปี 2549 ด้วยประสบการณ์ตรงหลายปี เราจำหน่ายโดยตรงจากโรงงานในราคาที่มีการแข่งขันสูง กลุ่มผลิตภัณฑ์ของเราครอบคลุมถึงใบเลื่อยเพชร บล็อกเจียรเพชร ดอกสว่านเพชร และเครื่องมือเพชรครบวงจรสำหรับการใช้งานในการก่อสร้าง

ข้อสงวนสิทธิ์:บทความนี้ดัดแปลงและเขียนใหม่จากรายงานที่เผยแพร่ต่อสาธารณะบนอินเทอร์เน็ตของจีน ซึ่งมีไว้เพื่อใช้อ้างอิงในอุตสาหกรรมเท่านั้น ตัวเลขกำลังการผลิต พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ และข้อมูลการใช้งานที่อ้างถึงในที่นี้มาจากการเปิดเผยต่อสาธารณะของสถาบันวิจัยและบริษัทที่กล่าวถึง ประสิทธิภาพในโลกแห่งความเป็นจริงจะแตกต่างกันไปตามเงื่อนไขการใช้งาน เราไม่ได้เป็นตัวแทนเกี่ยวกับความครบถ้วน ความถูกต้อง หรือทันเวลา และบทความนี้ไม่ถือเป็นคำแนะนำในการลงทุนหรือการจัดซื้อจัดจ้าง สำหรับการตีพิมพ์ซ้ำหรือการอ้างอิง โปรดติดต่อ huicetools และให้เครดิตแหล่งที่มาต้นฉบับ